工作原理是：當電場經高壓輸入后，產生輝光放電和電暈電離效果，因而形成高濃度臭氧離子層。通常放電氣體壓強遠低于大氣壓約10-8~10-4標準大氣壓，因而氣體粒子數的密度低，粒子間碰撞耦合弱。

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