产品介绍: | 本机主要使用于6英寸以下硅片双面精密研磨加工,同时用于石英晶片、宝石片、玻璃陶瓷片及其它硬脆材料的双面研磨加工。 精度指标 ●主机精度 1.下研磨盘端跳:0.08mm 2.上下研磨盘平面度:0.02mm 3.太阳轮径向跳动:0.10mm 4.齿圈径向跳动:0.18mm ●加工精度(四个修正轮修研后) 1.一致性:±0.008 mm 2.平面度:0.004 mm 3.平行度:0.006 mm |
产品特点: | 1. 变频器配合异步电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小; 2. 采用三电机同步拖动,变速范围更广,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求; 3. 太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求; 4. 上下研磨盘采用斜齿轮传动,运转平稳; 5. 采用PLC控制,压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制,压力过程实现了线形转换; 6. 应用人机界面(PT)显示与PLC控制,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数,主操作由普通键钮完成; 7. 采用集中润滑装置,各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。 8. 上盘采用X新的“浮动”连接装置,解决了错盘问题。 |