东莞市德欣电子科技有限公司
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DSN-B型 MFC/MFM
(气体流量范围X大300SLM)
本产品采用“激光分选”工艺制作的微型传感器，气体层流结构精密均匀，高耐腐蚀，使得MFC具有更X越的性能X势：
1.高的可靠性、稳定性和重复性。
2.高精密的控制机构。
3.高速响应 MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.长寿命（正常使用可达十年以上）。
5.采用微小尺寸的传感器，消除了“传感器”本身热效应对层流的破坏，“零点漂移”小于1%。
6.可自行清除工作过程中的表面污物（注：此项操作须在生产厂家进行）。
7.适应于一切气体（包括腐蚀性气）。
8.一体化设计，X越的抗电磁干扰性能。
具体参数：
1. 外形尺寸（不带接头）：130*45*140（mm）
2. 重量：2.3KG
3. 流量范围：0-300L/min
4. 工作压差：0.05-0.35Mpa
5. 电源：±15V，电流不低于500 m A
6. 泄漏率 ：< 1×10-8sccs He
7. 耐压：3Mpa
8. 材料：316L
9. 标准密封：Viton? O-ring
10. 工作环境温度：0-45℃
11. 接口尺寸：?10 3/8（通径?6, ?8）
附：压差流量对照表
工作压差（MPa） 0.1 0.2 0.25 0.3 0.35
流量范围（SLM） 0~100 0~200 0~250 0~300 0~300
