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DSN系列气体质量流量计特性:
产品名称:DSN-MFC气体质量流量计(MFC)
气体流量计标准量程(N2):0~30、50、100、200SLM;
气体流量计准精度:±2%F.S; 重复精度:±0.2%F.S
气体流量计响应时间:电特性 <10sec 气特性<1~4sec
气体流量计线性:±(0.5~1)%F.S 工作压差范围:0.05~0.3MPa
气体流量计耐压:3,10MPa; 工作环境温度:5~45℃
气体流量计输入输出信号电压:0~+5.00Vdc(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
气体流量计电源:+15V,500mA、-15V,500mA
气体流量计电连接器:D14pin
气体流量计外形尺寸:130*28*130mm
气体流量计重量:约1.5kg
气体流量计接口尺寸:Swagelok:Φ8.Φ10.Φ3/8〞....
VCR接头:Φ3/8〞.Φ5/8〞........
气体-流量范围30-200SLPM)
DSN-MFC模拟气体质量流量计采用“激光分选”工艺制作的微型传感器,气体层流结构精密均匀,高耐腐蚀,使得MFC气体流量控制器性能X势:
1.高的可靠性、稳定性和重复性。
2.高精密的控制机构。
3.高速响应 MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。
4.长寿命(正常使用可达十年以上)。
5.气体流量计采用微小尺寸的传感器,消除了“传感器”本身热效应对层流的破坏,“零点漂移”小于1%。
6.气体流量计可自行清除工作过程中的表面污物(注:此项操作须在生产厂家进行)。
7.气体流量计适应于一切气体(包括腐蚀性气)。
8.气体流量计采用一体化设计,具有X越的抗电磁干扰性能
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