真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
(1)高效节能,比电阻丝加热节电40%以上。
(2) 加热速度快 ,加热均匀。
(3)运行稳定 控温X
(4)安装快速 操作方便
在常温下一台直径830mm扩散泵用传统15kw电阻丝需费时70-90分钟,温升220度且不能再升温,而用15kw电磁加热线盘只需20分钟内可温加热到260度,大大缩短预热时间,提高了生产效率,且用电磁加热方式,温度到后设备会处于一种保温(间断工作)工作方式,使得设备节省大量的电量。在设备停机时,如果采用电阻丝加热方式的,冷却泵还要工作很长的一段时间才能停,因为用电阻丝制成的电炉在设备停机后还储存大量的热量(浪费的)。而电磁加热用的线盘是没有热量的(可以用手去触摸),设备停机后,很快就可以把冷却泵停掉。从而也节省了冷却泵的用电量。由此可见电磁加热比传统电阻丝加热至少节能30%-50%以上。