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上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列X大,离子能量X强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,X大电流X过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以X过 800 mA.
KRI考夫曼离子源KDC 160 技术参数
型号 | KDC 160 |
供电 | DC magnetic confinement |
- 阴极灯丝 | 2 |
- 阳极电压 | 0-100V DC |
电子束 | OptiBeam™ |
- 栅极 | X, 自对准 |
-栅极直径 | 16 cm |
中和器 | 灯丝 |
电源控制 | KSC 1212 |
配置 | - |
- 阴极中和器 | Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000 |
- 安装 | 移动或快速法兰 |
- 高度 | 9.92 |
- 直径 | 9.1 |
- 离子束 | 聚焦 |
平行 | |
散设 | |
-加工材料 | 金属 |
电介质 | |
半导体 | |
-工艺气体 | 惰性 |
活性 | |
混合 | |
-安装距离 | 8-45” |
- 自动控制 | 控制4种气体 |
* 可选: 可调角度的支架 |
|
KRI考夫曼离子源KDC 160 应用X域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源,霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经40 年改良及发展已取得多项X. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD X域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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