【普通无尘车间施工装修流程】基本说明
无尘车间装修施工注意事项及要求
无尘车间装修施工项目:
1、隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板,但彩钢板的夹芯有很多种。
2、天花吊顶:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:彩钢板与无尘板。
3、照明器具:采用无尘X灯具。
4、无尘车间制作主要包括天花吊顶、空调系统、隔断、地面、以及照明灯具。
5、地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。
6、空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。
电气工程施工要求:
1、洁净空调配电、照明配电和其他设备配电应单X控制。
2、网线、墙上设备电源利用原有线路,配电箱、插座、照明开关和网络面板均为暗装。
3、洁净室应根据生产要求提供足够的照明,在施工前要进行复核。
4、每个单X区域照明灯开关应单X控制。
5、灯具安装应易于清洁。
6、室内洁净灯具安装完毕,应该及时清扫。
无尘车间净化装修施工要求:
1、地面处理做自流平地面处理,铺设2mm 厚PVC地板。
2、根据GMP规范要求,洁净室在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,本工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。
3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。
4、建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
5、根据GMP认证检查标准,室内装修要符合下列要求:
a.应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
b.墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗,减少凹凸面。墙、地面相接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致,并便于识别污染物。 c.门窗与内墙而要平直,结构要充分考虑对空气和水汽的密封,使污染粒子不易从外部渗入,防止由于室内外温差而产生结露。室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断等缝隙均须密封。
6、 施工中应控制施工作业中的发尘量,特别是吊顶和夹墙内部等隐蔽空间,必须随时清扫。
7、在己安装高效过滤器的房间,不能进行有粉尘的装修作业。
8、注意保护已完成的作业面,不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装修的污染。
无尘车间装修后设备的安装:
装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,适于批量生产,质量稳定,供货迅速。机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便。 需要辅助建筑面积较小,对土建筑装修要求低。 气流组织形式灵活,合理,可满足各种工作环境,不同洁净等X的需要。
净化空调施工要求:
1、风管和部件应采用X质镀辞钢板,风管内表面必须平整光滑,不得在管内加固风管,咬接应采用联合角咬口,接缝必须涂密封胶。风管连接不应采用内法兰。风管必须设密封清扫孔,总管上应有风量测定孔(支干管上根据需要设置)过滤器前后要有测压孔。防爆区排风管咬口缝要用焊锡密封。
2、风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。送回风管用漏光法检查应无漏光,系统空调器漏风率不应大于2%。擦拭空调系统内表面采用不易掉纤维的材料。
3、高效过滤器安装前必须对洁净房间和净化空调系统全面清扫、擦洗,达到清洁要求后,开启净化空调系统连续试运行12小时以上,再次清扫,擦洗洁净室,立即安装高效过滤器。
【普通无尘车间施工装修流程】工作原理
无尘车间电路设计中集成电路的施工要求。
集成电路芯片无尘净化车间是努力实现半导体设备加工工艺要求的洁净室,该无尘车间对自然环境洁净度等X、温度湿度、震动、ESD、AMC操纵等常有必须的规定。相对性于别的工业生产洁净室,集成电路芯片生产制造无尘车间有总面积大、清洁等級高、温度湿度线性度高等学校特性。
依据洁净室生产车间气体循环系统特性能够将洁净室分成几种种类:循环系统空调相互配合高效送风口系统软件、循环系统离心风机相互配合湿试密封性系统软件和FFU呼吸系统。
其一种方式在小规模纳税人低等級规定的洁净室生产车间设计方案中被运用,针对大规模高X的洁净车间则存有运作成本费过高、占有室内空间过大等缺陷。
基二种方式的设计方案能够考虑集成电路芯片生产制造无尘车间大规模高X的规定,但运作成本费较高,而且洁净室风力、排风量调整艰难,系统更新更新改造艰难,因而实际操作协调能力很低。
基三种的FFU呼吸系统不但节约运作室内空间、洁净度等X安全系数高、运作低成本,并且实际操作协调能力很高,能够不在危害生产制造的状况下随时随地开展系统更新和调节,这种都能非常好地考虑半导体设备的要求,因而在半导体材料加工业FFU呼吸系统逐步形成关键的清洁方案设计。
FFU呼吸系统的特性是:全部洁净室由风压层、加工工艺层、加工工艺輔助层和送风安全通道构成,由FFU出示循环系统气体的驱动力,将新风系统、循环风混和后根据X高效过滤器送进加工工艺层和加工工艺輔助层,风压层相对性于加工工艺层为空气压力。除此之外,也有生产制造輔助区为集成电路芯片生产厂务机器设备地区,包含能源供应、汽体和化工品供货、X纯水供货等。 集成电路芯片生产制造对无尘车间自然环境的操纵有比较严苛的规定。不一样的加工工艺制程对洁净度等X的规定也不尽相同,比如光刻规定在1X的微自然环境下,而有机化学机械设备碾磨则只规定1500X的自然环境只能。
另一个,集成电路芯片生产制造洁净厂房对噪音、微振、光照强度等常有有关的要求和规定,特别是在是震动的操纵,在洁净室的建筑结构设计上还要有所为规定。
好的洁净车间设计方案不但能节约能源、减少运作成本费、减少人力资源资金投入,并且能够给生产制造出示可以X的确保。在3种清洁系统软件中,FFU呼吸系统运作成本费少,洁净度等X安全系数大,因而集成电路芯片洁净厂房多选用FFU呼吸系统。
而洁净度等X规定越高,温度湿度线性度越高则洁净室项目投资和运作成本费越高,因而在大自然环境洁净度等X或温度湿度规定相对性较低的状况下,将某些重要的工艺技术布局在较高洁净度等X或温度湿度操纵地区内是集成电路芯片生产制造洁净厂房的设计方案发展趋势。
集成电路芯片生产制造是高耗能的产业链,而清洁空调机组的耗能则占至少的40%左右,因而环保节能安全性的洁净室设计方案和各种各样能源收购设计方案将是未来发展方位。
随之集成电路芯片生产技术的连续不断升級,流行大厂早已进到了纳米技术时期,集成电路芯片生产制造洁净厂房的设计方案修建和环保节能自主创新也必须不断提高,为好的制程商品生产制造出示确保。
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