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FDMS系列薄膜介电测量系统
FDMS系列是一款常温或高低温条件下测量薄膜电介质材料的测量系统。该系统可以实现-160℃~400℃、空气和真空条件下薄膜的介电温谱、介电频谱、阻抗谱、COLE-COLE图和Nyquist图的测量功能 ，广泛应用于高校、科研、航空航天、X院所等X域，是薄膜介电测量的X佳测量系统。
FDMS系列薄膜介电测量系统
测量原理：
样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
FDMS系列薄膜介电测量系统
技术规格：
探针臂个数：4个或6个
AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz
测量温度：-160℃~400℃/10K~675K
测量参数：Z,Ø,L,C,R,Q,D,Y,G,B,X
降温时间：~45min to 110K
测量精度：0.05%
真空度：~10-6 mbar
测量参数：C电容
X大样品尺寸：≤51mm
C-V测量的电压：内置±40V DC偏置装置
可视系统：7:1变焦,彩色CCD,同轴环形光可调电源
碳化钨探针夹具阻抗：50Ω
XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm 。
标准配置：
Partulab CPS系列低温真空探针台
配置：
CPS-7000 低温真空探针台；
--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台；
--SRS CTC-100温控仪及传感器；
--液氮传输系统；
Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）
配置：
6500B 精密阻抗分析仪
--6510测量频率 20Hz 至 10MHz
--测量参数Z,Ø,L,C,R,Q,D,Y,G,B,X； --精度0.05% ；
--可选±40V直流偏压
PartulabDielectricMeaskit 测量套件
配置：
FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough
--4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆；CSH-DE 介电同轴样品固定座
--模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好； DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具
--阻抗50欧姆的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm； PA-DE 介电测量探针臂
--介电用的测量探针臂，带热沉 ；MEMS多功能材料电学测量分析软件
--附带全套介电功能测量分析软件
